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LGH测头高精度激光全息光栅式测微仪(0.005um分辨率)

LGH测头高精度激光全息光栅式测微仪(0.005um分辨率)
产品名称:LGH测头高精度激光全息光栅式测微仪(0.005um分辨率)
所属类别:三丰线性测微计
产品人气:1716
更新日期:2019/5/13 11:55:07
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产品介绍

日本三丰LGH测头高精度激光全息光栅式测微仪(0.005um分辨率)LGH-0510-B-EH/542-720/542-721

产品特点:


1.装配了采用新的光电式反射型线性编码器的高精度测量机。紧凑型机身配合测微头,与以前的激光测长机等机器装备组合,大幅削减成本的同时,也为装置小型化做出巨大贡献。可以作为高精度零部件的测量和高精度定位、控制装置的测长传感器,也适合作为测量机设备的基准规。

2. 也具有低测力规格产品:根据用途可以选择低测力规格,可以测量易变形工件和高性能胶片等。

3. LGH 系列是与专用计数器的组合规格。

4.装配新开发的超高精度透射型线性编码器,实现0.005μm(5nm) 的高分辨力

5.在测量范围10mm 的宽范围内实现了指示精度0.1μm。适用于标准规的校正· 赋值,以及用于测量机的基准器

技术参数:

型式

LGH-0510-B-EH ( 标准型)

LGH-0510C-B-EH ( 低测力型 ) *2

货号

542-720

542-721

测量范围

10mm

分辨力

0.005m ( 0.01m, 0.05m, 0.1m用计数器可切换)

指示精度(20°C)

0.1m

重复精度(2σ)0.02

0.02um

0.02um

量化误差

0.05um

0.05um


测杆朝下

约0.65N以下

约0.1N以下


测力

水平

约0.55N以下

使用不可



测杆朝上

约0.45N以下

使用不可


位置检出方式

超高精度透射型线性编码器

超高精度透射型线性编码器

存储温度(湿度)范围

-10°C~60°C/20~80%(无冷凝)-10°C~60°C/20~80%(无冷凝)

响应速度

250mm/s

250mm/s

重量

约370g

约370g

尘 / 水防护等级*1

达到IP54防护等级

测头

硬质合金SR5(M2.5(P=0.45)×5)标准测头No.120058

装夹套筒

直径15mm

轴承类型

高精度线性滚珠轴承

输出电缆长度

约2m

接口

RS-232C USB (SENSORPAK专用)Digimatic输出(打印机:DP-1VALOGGER)I/O电缆

运行温度(湿度)范围

15~25C(基准温度度20°C)/30~60%RH(无冷凝)

专用计数器规格:

量化误差±1

分辨力 ±99.999995mm

功能 调零,预调、方向转换、公差判定(3段/5段)、RS-RINK

接口 RS-232C/ 数显 /USB  (  SENSORPAK )

电源 附带 AC 适配器 , DC + 12 ~ 24V, MAX700mA

功耗8.4W ( MAX 700mA )

每个装置的可靠供电应在 1A 以上

外形尺寸 144 ( W ) × 157 ( D ) × 75 ( H )

重量 约 900g ( 不包括 AC 适配器 )

标准配件

扳手 ( 用于更换测头 ) ,橡胶脚垫,支架,垫圈 ( 用于计数器 ) , AC 适配器,

交流电源线, DC 插头,用户手册,检验证书


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